Verfahren und Vorrichtung zum Kaltgasspritzen von Partikeln unterschiedlicher Festigkeit und/oder Duktilität
2007
Die
Erfindung betrifft ein Verfahren zum Kaltgasspritzen von Partikeln
mit unterschiedlich hoher Festigkeit und/oder Duktilitat sowie
eine Vorrichtung (11) zum Kaltgasspritzen, die fur dieses Verfahren geeignet ist.
Um einen vergleichsweise hohen Anteil an Partikeln (23) mit der
verglichen mit den anderen Partikeln (22) hoheren Festigkeit und/oder geringeren
Duktilitat
zu erreichen, wird erfindungsgemas vorgesehen,
dass diese Partikel in einem Bereich (21) der Stagnationskammer
(15) der Kaltspritzeinrichtung eingespeist werden, der weit von
der Duse
(14) entfernt ist. Daher mussen
die Partikel (23) vorteilhaft einen weiteren Weg durch die Stagnationskammer zurucklegen
und werden daher vorgewarmt.
Hierdurch lasst
sich eine Abscheidung dieser Partikel (23) auf einem Substrat (25)
verbessern. Insbesondere konnen
Metalle mit einer Ubergangstemperatur
zwischen sprodem
und duktilem Verhalten durch die Vorwarmung mit duktilen Eigenschaften
ausgestattet werden, was deren Abscheidung vereinfacht.
Keywords:
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI