Appareil et procede de detection d'erreurs de surimpression utilisant une diffusiometrie

L'invention concerne un procede de determination d'une erreur de surimpression entre deux couches d'une echantillon a couches multiples. Pour une pluralite de cibles periodiques, chacune ayant une premiere structure formee a partir d'une premiere couche et une seconde structure formee a partir d'une seconde couche de l'echantillon, on utilise un systeme optique pour mesurer un signal optique provenant de chaque cible periodique. Des decalages predefinis se trouvent entre les premiere et seconde structures. Une erreur de surimpression est determinee entre les premiere et seconde structures par l'analyse des signaux optiques mesures provenant des cibles periodiques a l'aide d'une technique de surimpression de diffusiometrie s'inspirant des decalages predefinis. Le systeme optique comporte un des appareils suivants : un reflectometre d'imagerie, un reflectometre spectroscopique d'imagerie, un reflectometre d'imagerie spectroscopique polarise, un systeme reflectometre de balayage, un systeme a deux reflectometres au moins apte a acquerir des donnees en parallele, un systeme a deux reflectometres spectroscopiques au moins apte a acquerir des donnees en parallele, un systeme a deux reflectometres spectroscopiques polarises au moins apte a acquerir des donnees en parallele, un systeme a deux reflectometres spectroscopiques polarises au moins apte a acquerir des donnees en serie sans avoir a deplacer l'etage de la tranche ou a deplacer un element optique quelconque ou l'etage du reflectometre, des spectrometres d'imagerie, un systeme d'imagerie a filtre de longueur d'ondes, un systeme d'imagerie a filtre de longueurs d'ondes passe-long, un systeme d'imagerie a filtre de longueur d'ondes passe-court, un systeme d'imagerie sans filtre a longueur d'ondes, un systeme d'imagerie interferometre, un elipsometre d'imagerie, un elipsometre spectroscopique, un elipsometre a laser ayant un modulateur photoelastique, un elipsometre spectroscopique d'imagerie, un systeme elipsometre de balayage, un systeme a deux elipsometres au moins apte a acquerir des donnees en parallele, un systeme a deux elipsometres au moins apte a acquerir des donnees en serie sans avoir a deplacer l'etage de la tranche ou a deplacer un element optique quelconque ou l'etage d'elipsometre, un interferometre Michelson et un interferometre Mach-Zehnder, in interferometre Sagnac, un angle de balayage d'un systeme d'incidence, un systeme a angle azimutal de balayage, un reflectometre a differentiel de premier ordre +/-, un reflectometre polarise differentiel de premier ordre +/-.