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付加水素ガスによるアルゴン/窒素混合ガス中での高周波マグネトロンスパッタリングにより堆積した厚いc‐BN膜【Powered by NICT】
付加水素ガスによるアルゴン/窒素混合ガス中での高周波マグネトロンスパッタリングにより堆積した厚いc‐BN膜【Powered by NICT】
2016
Zhao Yan
Gao Wei
Xu Bo
Li Ying-Ai
Li Hongdong
Gu Guang-Rui
Yin Hong
Keywords:
Quantum mechanics
Physics
Aerospace engineering
Optics
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