Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
超高純度 Cu 陽極の含リン化が 8 インチウエハへの超高純度めっきプロセスにおける異物汚染および形成した Cu 配線の抵抗率に及ぼす影響
超高純度 Cu 陽極の含リン化が 8 インチウエハへの超高純度めっきプロセスにおける異物汚染および形成した Cu 配線の抵抗率に及ぼす影響
2013
tasiro yuu
kadota hiroyuki
itou masahiko
muranaka kanetuki
oonuki hitosi
Keywords:
Metallurgy
Materials science
Inorganic chemistry
Phosphorus
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI
[]