ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、ノズル洗浄プログラム、及びそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

【課題】基板に処理液を吐出するノズルを洗浄するノズル洗浄装置において、基板処理に不具合が生じないようノズル先端を効率的に洗浄し、且つ装置コストを低減することのできるノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、ノズル洗浄プログラム、及びそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供する。 【解決手段】ノズル３０を収容し、少なくともノズル３０先端周囲の内周面が漏斗状に形成された洗浄室１と、洗浄室１の漏斗状の内周面に沿って周方向に洗浄液としての溶剤Ｔを流入する洗浄液供給手段とを備え、ノズル３０が洗浄室１内に収容された際、洗浄液供給手段２１が洗浄室１内に溶剤Ｔを所定量供給し、ノズル３０の回りを旋回する溶剤Ｔの渦が形成される。 【選択図】図２