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GaN계 질화합물 반도체의 습식식각 연구 ( Studies on Chemical Wet Etching of GaN )
GaN계 질화합물 반도체의 습식식각 연구 ( Studies on Chemical Wet Etching of GaN )
1998
윤관기
이성대
이일형
최용석
유순재
이진구
Keywords:
Nanotechnology
Etching (microfabrication)
Inorganic chemistry
Materials science
Chemical engineering
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