導電性高分子組成物、被覆品、及びパターン形成方法
2015
【課題】電子線レジストへの描画時に帯電防止能に優れ、また、レジスト上の塗布性、及び水及びアルカリ水溶液による剥離性に優れ、電子線リソグラフィーに好適に用いることができる導電性高分子組成物を提供する。【解決手段】(A)特定のチオフェン系導電性高分子、及び(B)式(2)で示される繰り返し単位aを含み、重量平均分子量が1,000〜500,000の範囲のものであるドーパントポリマー、を含有する導電性高分子組成物。【選択図】なし
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