光電変換装置、撮像システム、及び光電変換装置の製造方法

【課題】複数の層内レンズと多層配線構造とを少ない工程で製造することに適した光電変換装置を提供する。 【解決手段】光電変換装置は、光電変換部をそれぞれ含む複数の画素が配列された画素配列領域と前記画素配列領域の周辺に配された周辺領域とを有する光電変換装置であって、半導体基板の上に配され、前記画素配列領域の配線層の数よりも前記周辺領域の配線層の数が多い多層配線構造と、前記画素配列領域における前記多層配線構造の上に配された複数の層内レンズとを備え、前記複数の層内レンズのそれぞれは、第１の絶縁体と、前記第１の絶縁体を覆うように配され、前記第１の絶縁体より高い屈折率を有した第２の絶縁体とを含み、前記複数の層内レンズのそれぞれにおける前記第１の絶縁体と、前記多層配線構造における前記周辺領域の最上の層間絶縁膜とは、同じ材料で形成されている。 【選択図】図２