非磁性板状粒子とその製造方法、およびこの粒子を用いた研磨材、研磨体、研磨液

(57)【要約】 【課題】 研磨テープ等の研磨体や磁気テープ、さらに は各種の機能性光学フィルムなどに特に適した特定の粒 子形状を有する非磁性板状粒子、特に酸化セリウム粒 子、酸化ジルコニウム粒子、酸化アルミニウム粒子、酸 化珪素粒子および酸化鉄粒子と、その製造方法を提供す る。 【解決手段】 オキシアルカリアミンを含むアルカリ水 溶液に各種の金属塩の水溶液を添加し、得られた各種金 属の水酸化物あるいは水和物を、水の存在下で１１０〜 ３００℃の温度範囲で加熱処理する。次いで、ろ過、乾 燥後、さらに空気中３００〜１２００℃の温度範囲で加 熱処理して酸化セリウム粒子、酸化ジルコニウム粒子、 酸化アルミニウム粒子、酸化珪素粒子、酸化鉄粒子等の 酸化物粒子とする。これにより、粒子の形状が板状で、 かつ粒子の板面方向の平均粒子径が１０ｎｍから１００ ｎｍの範囲にある酸化セリウム粒子、酸化ジルコニウム 粒子、酸化アルミニウム粒子、酸化珪素粒子、酸化鉄粒 子を得る。