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Y系超電導体を用いた真空用Y-X2自由度マイクロアクチュエ-タ (マイクロマシン )
Y系超電導体を用いた真空用Y-X2自由度マイクロアクチュエ-タ (マイクロマシン )
1992
yosihiko maeda
kazuyuki aihara
hiroyuki fuzita
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