Appareil et procédé d’exposition, et procédé de production de dispositif

Cette invention concerne un appareil d’exposition (EX) comprenant un systeme d’immersion dans un liquide (1), un premier corps mobile (4) et un element predetermine (30). L’appareil d’exposition (EX) expose un substrat (P) au moyen d’un element optique (FL) et d’un liquide (LQ). Le systeme d’immersion dans un liquide (1) fournit et applique le liquide (LQ). Le premier corps mobile (4) se deplace dans une premiere zone (10), et le liquide (LQ) peut etre retenu entre ce corps (4) et l’element optique (FL). L’element predetermine (30) est separe du premier corps mobile (4) lorsque celui-ci quitte une position en face de l’element optique (FL), et le liquide (LQ) peut etre retenu entre l’element predetermine (30) et l’element optique (FL).