Vorrichtung zum führungstoleranzausgleich bei mehrachsenpositionierern

Vorrichtung zum Fuhrungstoleranzausgleich an Mehrachsenpositionierern, wobei auf einem ersten Fuhrungstrager (FX) bezuglich einer ersten Achse (X) ein zweiter Fuhrungstrager (FY) durch einen zugehorigen Positionierantrieb (MX) verschieblich oder verschwenkbar gelagert ist und an dem zweiten Fuhrungstrager (FY) bezuglich einer zweiten Achse (Y) ein weiterer Fuhrungstrager oder ein Objekt (O) durch einen zugehorigen Positionierantrieb (MY) verschieblich oder verschwenkbar gelagert ist und die jeweilige Verschiebung auf den Fuhrungstragern (FX, FY) durch eine jeweils zugehorige Koordinatenmesvorrichtung (APX, APY) laufend ermittelt wird, wobei auf den Fuhrungstragern (FX, FY) jeweils mindestens ein Messtrahler (S1-S4) mit enger Apertur parallel zur Fuhrung ausgerichtet angeordnet ist und an dem jeweils gefuhrten Teil (FY, O) von den einzelnen Messtrahlen beaufschlagt jeweils eine Abweichungsmesvorrichtung (AMX, AMY, AMZ1, AMZ2) so angeordnet ist, das deren Abweichungsmessignal (SMX, SMY, SMZ1, SMZ2) jeweils mindestens eine Lageabweichung quer zur Richtung des auftreffenden Messtrahls signalisiert.