Сенсор на основе кремниевого микроканального резистора

Представленная работа посвящена созданию сенсорной структуры на основе упорядоченного микроканального кремния для электрофизического детектирования жидкостей. Методом измерения проводимости микроканальной мембраны (чувствительный элемент сенсора) было изучено поведение во времени различных органических и неорганических веществ (деионизованной воды, этанола, водно-этанольных растворов, уксусной кислоты и гидроксида аммония), помещаемых на пористое тело. Установлено, что для каждой жидкости, наносимой капельным способом на чувствительный элемент, микроканальный резистор имел свой специфический отклик. Предложенный электрофизический метод позволял выявлять жидкости, с которыми взаимодействовал сенсор.