Procédé de production de couche mince et dispositif de production de couche mince

L'invention porte sur un dispositif de production de couche mince (100A) dote d'une cuve a vide (22), d'une source de depot (9) (source d'evaporation), d'un systeme de transport (40) et d'un dispositif d'enduction (11). La source de depot (9) est utilisee pour former une couche mince sur une premiere surface principale d'un substrat (21) dans une zone de depot (31) dans la cuve a vide (22). Le systeme de transport (40) est responsable du transport du substrat (21) d'un rouleau de deroulage (23) (position initiale) vers un rouleau d'enroulage (26) (position de recuperation) le long d'un trajet de transport concu de facon a ce que le substrat (21) passe dans la region de depot (31). Lors de la formation de la couche mince, le dispositif d'enduction (11) applique sur une seconde surface principale du substrat (21) une matiere de refroidissement de substrat (10) qui peut etre amenee a s'evaporer par l'application de chaleur au substrat (21).