Dispositif de dépôt par évaporation sous vide, procédé de dépôt par évaporation sous vide, et dispositif d'affichage électroluminescent organique

La presente invention concerne un procede selon lequel des particules de depot par evaporation sous vide (91) liberees depuis au moins une ouverture de depot par evaporation sous vide (61) traversent une pluralite d'ouvertures a restriction (82) dans une unite de restriction (80) et une pluralite d'ouvertures a masque (71) dans un masque de depot par evaporation sous vide (70), et adherent a un substrat (10) pour y former un revetement, le substrat effectuant un deplacement relatif dans une seconde direction (10a). L'unite de restriction comporte une pluralite de materiaux en plaques superposees. Il est donc possible de former un revetement de depot par evaporation sous vide presentant un flou minimal au niveau des bords sur un large substrat avec une bonne efficacite et a faible cout.