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404 Sol-gel法によるLNO/SiO_2/Si基板上への(100)面配向のPZT薄膜の作製(薄膜,平成18年度春季全国大会)
404 Sol-gel法によるLNO/SiO_2/Si基板上への(100)面配向のPZT薄膜の作製(薄膜,平成18年度春季全国大会)
2006
tosihide kumagaya
sen ketu ou
hiroyuki kokawa
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