ЛАЗЕРНАЯ МОДУЛЯЦИОННАЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННАЯ МИКРОСКОПИЯ КАК СРЕДСТВО КОНТРОЛЯ ФОРМЫ И ШЕРОХОВАТОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Рассмотрено применение технологии модуляционной интерференционной микроскопии в качестве эффективного инструмента для контроля качества прецизионных оптических поверхностей с шероховатостью порядка 1 нм и плоскостностью до 10 нм на апертуре до 100 мм.The different aspects of modulation interference microscopy technology application as an effective tool for quality control of the precision optical surfaces with the roughness of about 1 nm and flatness up to 10 nm at the 100 nm aperture, were considered.