Metallalkoxidverbindung, Material zum Bilden eines dünnen Films, und Verfahren zum Herstellen eines dünnen Films

Tetsuji Abe,Ryusaku Fujimoto,Takashi Higashino,Atsushi Nagareyama Sakurai,Masako Shimizu,Senji Wada

Metallalkoxidverbindung, Material zum Bilden eines dünnen Films, und Verfahren zum Herstellen eines dünnen Films

2007

Tetsuji Abe
Ryusaku Fujimoto
Takashi Higashino
Atsushi Nagareyama Sakurai
Masako Shimizu
Senji Wada

Eine Metallalkoxidverbindung, die durch die folgende allgemeine Formel (1) dargestellt wird, wobei jeder Rest R 1 bis R 8 unabhangig voneinander ein Wasserstoffatom oder eine Methylgruppe ist; und M ein Titan-, Zirconium- oder Hafniumatom ist.

Keywords:

Polymer chemistry
Zirconium
Materials science

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