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キャピラリー放電を用いた Diamond-Like Carbon 薄膜の成膜技術の開発 (第2報) : キャピラリー放電による蒸着への放電管材質の影響
キャピラリー放電を用いた Diamond-Like Carbon 薄膜の成膜技術の開発 (第2報) : キャピラリー放電による蒸着への放電管材質の影響
2013
kiyotosi fuzii
etu otto fuziwara
masayosi simizu
syouzou inoue
Keywords:
Chemical physics
Analytical chemistry
Diamond-like carbon
Chemistry
Nanotechnology
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