Entraînement de robot comprenant rotor passif

L'invention porte sur un appareil de transport de substrat, lequel appareil comprend une section d'entrainement et un premier ensemble de bras mobiles. La section d'entrainement comprend un premier moteur. Le premier moteur comprend un stator et un rotor passif. Le premier ensemble de bras mobiles est relie au premier moteur. L'appareil de transport de substrat est configure de telle sorte que le premier ensemble de bras mobiles peut etre positionne dans une chambre a vide, avec le rotor passif qui est en communication avec un environnement a l'interieur de la chambre a vide.