Procede d'examen des proprietes chimico-physiques d'un film mince

2000 
L'invention concerne un procede pour etudier les changements du comportement chimico-physique d'un film mince sous l'effet d'une influence et/ou d'une reaction chimiques, ledit film mince etant place sur un cristal de quartz d'une balance a cristal de quartz (QCM). On observe les changements de la dissipation et/ou de la frequence de resonance de la balance QCM, et les valeurs d'observation sont correlees aux changements du comportement chimico-physique.
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