주석 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법

본 발명은 열적 안정성과 휘발성이 개선된 신규한 주석 전구체에 관한 것으로, 상기 주석 전구체를 이용하여 낮은 온도에서 우수한 성장 속도로, 쉽게 양질의 주석 산화물 박막을 제조하는 방법 및 이를 통해 제조된 박막을 제공할 수 있다.