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ICP 보조형 RF Magnetron Sputter를 이용한 HfN 박막의 물성 연구
ICP 보조형 RF Magnetron Sputter를 이용한 HfN 박막의 물성 연구
2008
주대현
이재영
양종우
최종인
박지혜
박환진
채주현
천희곤
Keywords:
Materials science
Analytical chemistry
Cavity magnetron
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