Méthode de fabrication d'un tube analyseur d'images solide et tube analyseur d'images solide
2005
Une methode de fabrication d'un tube analyseur d'images solide comprenant une portion de conversion photoelectronique, une portion de transfert de charge et une portion de circuit peripherique, la methode comprenant : la formation d'un modele comprenant un premier film conducteur de silicone de couche a la surface d'un semi-conducteur, le premier film conducteur de silicone de couche formant : une premiere electrode ; et une premiere interconnexion de couche pour la portion de conversion photoconductrice et la portion de circuit peripherique ; formant un film insulant au moins sur une paroi d'un cote de la premiere electrode ; formant un second film conducteur de silicone pour former une seconde electrode au substrat du semi-conducteur.
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