Capteur à microcantilever à actionnement bimorphe et lecture piézorésistive
2012
L'invention concerne un procede de controle d'une ou plusieurs reactions specifiees dans un echantillon de milieu fluide a l'aide d'une signature thermique, qui consiste a utiliser au moins un capteur a microcantilever, ledit capteur a microcantilever comportant au moins deux materiaux ayant differents coefficients de dilatation thermique, et ayant un element chauffant et un capteur piezoresistif integre dans celui-ci; a etalonner la ou les reponses de microcantilever vis-a-vis d'echanges thermiques pour former une caracteristique de reponse de microcantilever etalonnee; a demarrer la reaction specifiee dans l'echantillon de milieu fluide; a envoyer des impulsions electriques a l'element chauffant pour induire une generation de chaleur dans le microcantilever; a echantillonner la sortie du capteur piezoresistif integre pour caracteriser une reponse du microcantilever pendant la reaction specifiee dans le milieu fluide; et a soustraire la caracteristique de reponse de microcantilever etalonnee de la sortie echantillonnee pour determiner une caracteristique de la ou des reactions specifiees dans l'echantillon de milieu fluide. L'invention concerne egalement un procede de mesure d'au moins une propriete thermique d'un echantillon de milieu fluide et un appareil de detection de reaction d'echantillon de milieu fluide.
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