Detecteur de particules apte a etre utilise pour la detection d'ions et d'electrons

L'invention concerne un detecteur de particules pouvant passer de detecteur d'ions a detecteur d'electrons, qui comprend un convertisseur ion-electron et un detecteur scintillateur. Au moyen d'un reglage de tensions sur les composants, l'impact du convertisseur sur les trajectoires des electrons est minimal de facon que ces derniers soient detectes de maniere efficace par le detecteur scintillateur. Au moyen de reglages de tensions differents sur les composants, le detecteur peut fonctionner en mode ion positif afin de recueillir des ions positifs a une efficacite adequate pour la majorite des applications FIB. Le convertisseur ion-electron se presente de preference sous forme d'un cylindre ou comprend plusieurs plaques paralleles.