Grilles métalliques à faible piégeage de charge et des caractéristiques de fiabilité diélectriques améliorées pour des empilements diélectriques de grille à haute constante diélectrique

La presente invention concerne un empilement de grille multicouche presentant une fiabilite amelioree (c'est a dire, un piegeage a faible charge et une faible degradation de fuite de grille). L'empilement de grille multicouche selon l'invention comporte, de haut en bas, une couche metallique azotee situee sur une surface d'un dielectrique a haute constante dielectrique et conducteur contenant du silicium situe directement a la surface de la couche metallique azotee. La fiabilite amelioree est obtenue grâce a l'utilisation d'une couche metallique azotee ayant un rapport de composition metal/azote inferieur a 1,1. L'empilement de grille selon l'invention peut etre utile en tant qu'element d'un semi-conducteur d'oxyde de metal complementaire (CMOS). La presente invention concerne egalement un procede de fabrication d'un tel empilement de grille selon lequel les conditions d'un traitement de pulverisation cathodique sont variees pour controler le rapport metal/azote dans la couche deposee par pulverisation.