レーザ素子、レーザ光源の製造方法、レーザ光源、照明装置、モニタ装置及びプロジェクタ

【課題】レーザ素子をサブマウントに接合して常温に戻した場合に生じるレーザ素子内部の応力の発生や、レーザ素子とサブマウントとの反りの発生を抑える。 【解決手段】複数の発光部を有するレーザ素子２５に対して、当該レーザ素子２５を複数のレーザ単位素子１５に分断するための分断開始箇所となる分断開始部Ｃ１，Ｃ２を形成する工程と、分断開始部Ｃ１，Ｃ２が形成されたレーザ素子２５を、サブマウント３０に接合する工程と、サブマウント３０に接合されたレーザ素子２５をレーザ単位素子１５に分断する工程とを含み、分断開始部Ｃ１，Ｃ２を形成する工程は、隣り合うレーザ単位素子１５の間に、発光部の配列方向に沿って少なくとも２つの分断開始部Ｃ１，Ｃ２を備える。 【選択図】図６