Etudes par XPS et calculs ab initio de couches minces de nitrure de bore

Des couches minces de nitrure de bore deposees par CVD sur des substrats de carbure de silicium sont etudiees par spectroscopie photoelectronique a rayonnement X (XPS ou ESCA) et calculs quantiques ab initio (base STO-3G). Les analyses XPS des couches electroniques de coeur montre la presence, de facon homogene, d'oxygen. Celui-ci n'est pas simplement adsorbe mais substitue une partie des azotes ([B]=[N]+[O]). Les spectres XPS haute resolution montre en outre l'existence des environnements NB 3 , BN 3 et BN x O y