機能性膜及びその製造方法、並びに、それを用いた光半導体電極、光電変換素子

(57)【要約】 【課題】 機能性膜及びその製造方法を提供し、更に前 記機能性膜を用いた光電変換効率の高い光半導体電極 と、光電変換素子とを簡便に効率よく提供する。 【解決手段】 微粒子と搬送ガスとが混合されたエアロ ゾルを支持基板表面に吹き付け、前記微粒子を前記支持 基板表面に堆積させる堆積工程を含む機能性膜の製造方 法であって、前記微粒子が、機能性分子を担持させた無 機微粒子であることを特徴とする機能性膜の製造方法、 及び、該製造方法により得られた機能性膜、並びに、そ れを用いた光半導体電極、光電変換素子。