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シリコン酸窒化膜の内殻準位異常シフトに対する表面吸着種の影響 (電子部品・材料)
シリコン酸窒化膜の内殻準位異常シフトに対する表面吸着種の影響 (電子部品・材料)
2015
takahiro takami
makoto wada
yosiharu tooda
Keywords:
Silicon oxynitride
Materials science
Inorganic chemistry
Optoelectronics
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