Изучение возможности выращивания монокристаллов германия в условиях низких градиентов температуры
2014
Исследована возможность выращивания монокристаллов германия в условиях низких градиентов температуры с целью получения бездислокационного материала. В системе с весовым контролем процесса при максимальных осевых градиентах 1.5 К/см выращены кристаллы германия с плотностью дислокации 100 200 см-2.
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI