静電偏向器及びその製造方法、静電レンズ及びその製造方法、電子ビーム照射装置及びそのクリーニング方法

(57)【要約】 【課題】 コンタミネーションを容易に除去できる静電 偏向器及びその製造方法、静電レンズ及びその製造方 法、電子ビーム照射装置及びそのクリーニング方法を提 供する。 【解決手段】 電子ビーム照射装置に用いられる静電偏 向器又は静電レンスが、導電性セラミクス等の円筒状の 電極基材６０と、この電極基材６０内表面に形成された 電極６１及び円筒側壁の各貫通孔６６を介して設けた各 電極６１に電圧を供給する電圧導入端子６５と、電極基 材６０に形成され、且つ側面から上下面に貫通するガス 供給通路７０とから構成される。そして装置の動作を停 止状態、又は動作中に反応性ガスを偏向電極、又は静電 レンズの内部表面の近くに直接導入することにより、電 極表面に付着したコンタミネーションを効率よく除去す る。