半導体装置、電子機器、および半導体装置の製造方法
2007
【課題】高い段差の上方から下方に掛けて段切れすることなく良好にパターン形成された導電性パターンを備えたことにより歩留まりの向上が図られた半導体装置および電子機器、さらには半導体装置の製造方法を提供する。 【解決手段】基板10に達する第1開口部11aを備えて基板10上に形成された第1絶縁膜11と、第1開口部11a内において基板10に達する第2開口部13aを備えて第1絶縁膜11上を覆う第2絶縁膜13と、第2開口部13aを介して基板10に接する状態で第2絶縁膜13上に設けられた導電性パターン15とを備えた。第2絶縁膜13は、第1開口部11aの上方肩部をラウンド形状に覆う。 【選択図】図1
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