A capacitive pressure sensor

Mit der vorliegenden Erfindung wird ein mikromechanisch hergestellter kapazitiver Drucksensor beschrieben, der eine erste Elektrode in einer ersten beweglichen Membran und eine zweite Elektrode in einem Aufbau auf einer zweiten beweglichen Membran aufweist. Diese erste bzw. zweite Membran lasst sich durch die Druckbeaufschlagung mittels eines Mediums derart auslenken, dass die beiden Elektroden relativ zueinander verschoben werden. In Abhangigkeit von dieser Verschiebung wird mittels eines geeigneten Erfassungsmittels eine Messgrose erfasst, die ein Mas fur diese Druckbeaufschlagung reprasentiert. Der Kern der Erfindung besteht dabei darin, dass die erste und zweite Membran im Wesentlichen nebeneinander angeordnet sind.