압력 센서 및 압력 센싱 방법
2012
압력 센서 및 압력 센싱 방법이 개시된다. 개시된 압력 센서는, 기판과, 기판 상에 마련되고, 게이트 절연층을 구비하며, 게이트 절연층이 유기물 매트릭스를 포함하고 이 유기물 매트릭스 내에 압전 무기물 나노입자가 분산되도록 형성된 센서 박막트랜지스터와, 센서 박막트랜지스터의 게이트에 교류 신호를 인가하는 전원부와, 센서 박막트랜지스터로부터 검출되는 드레인 전류를 이용하여 잔류 분극값을 얻어 압력을 센싱하는 압력 센싱부를 포함한다.
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