Procede et dispositif de suppression de bulles dans des systemes de lithographie par immersion

L'invention concerne un procede d'exploitation d'un systeme de lithographie par immersion (26), qui consiste a: immerger au moins une partie d'une plaquette (12) a exposer dans un milieu d'immersion (24) contenant au moins une bulle (28); diriger des ultrasons (36) sur au moins une partie du milieu d'immersion pour faire eclater et/ou dissiper la bulle; et enfin, exposer la plaquette avec un motif d'exposition (22) en soumettant le milieu d'immersion a un rayonnement electromagnetique. Par ailleurs, l'invention decrit un systeme de surveillance et de controle (30, 32, 34) destine a un systeme de lithographie par immersion (26).