Conception de cibles symétriques en métrologie des défauts d'alignement par scattérométrie

Cette invention concerne des procedes de metrologie, des systemes et des cibles, qui mettent en œuvre un paradigme cote-a-cote. Des cellules adjacentes ayant des structures periodiques sont utilisees pour extraire le defaut d'alignement, par ex., par introduction de decalages de phases ou de decalages d'images controlables qui permettent le calcul algorithmique du defaut d'alignement. Les structures periodiques sont concues pour presenter une symetrie rotationnelle pour permettre le calcul et reduire les erreurs.