Capteur thermique et son procédé de fabrication
2002
La presente invention concerne un capteur thermique dans lequel des elements chauffants (2) sont disposes a la surface d'un substrat plan (1) d'au moins 150 νm d'epaisseur et un câblage (3) destine a un signal de sortie et sont relies electriquement a travers un câblage (4) traversant depuis la surface jusqu'a une face arriere du substrat (3) et relies en outre electriquement a une portion de câblage d'entree/sortie (12) constitue sur la face arriere du substrat. Etant donne que la portion d'entree/sortie qui doit etre suffisamment separee de la portion de detection a la surface du substrat dans l'art anterieur peut etre formee sur la face arriere du substrat et peut etre disposee librement par rapport a la partie de detection, on peut reduire la taille de l'element et les couts de fabrication egalement.
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