エッチング方法，化学気相成長装置，化学気相成長装置のクリ―ニング方法，及び化学気相成長装置用の石英部材

(57)【要約】 【課題】石英をエッチングせずに、（Ｂａ，Ｓｒ）Ｔｉ Ｏ 3 等のアルカリ土類金属の酸化物を選択的にエッチン グする。 【解決手段】ハロゲン、ハロゲン間化合物、またはハロ ゲン水素化物でフッ素を含まないエッチングガスを用い て、少なくとも１つ以上のアルカリ土類金属を含む酸化 物、例えば（Ｂａ，Ｓｒ）ＴｉＯ 3 のエッチングを行 う。