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セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ (第3報):—犠牲層を用いたS-DLC膜の生成方法と駆動実験—
セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ (第3報):—犠牲層を用いたS-DLC膜の生成方法と駆動実験—
2012
yuuya isikawa
man nakamura
masaya takasaki
mai takasima
hisato ootake
tuyosi mizuno
Keywords:
Surface acoustic wave
Ultrasonic motor
Diamond-like carbon
Ceramic materials
Materials science
Composite material
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