Systemes et procedes destines au nettoyage au moyen d'un plasma eloigne

L'invention concerne un systeme de nettoyage au moyen d'un plasma eloigne comprenant un conduit d'amenee a conductance elevee amenant des especes activees a une chambre de traitement a partir d'un generateur de plasma eloigne. Le conduit d'amenee possede, de preference, une conductance superieure a 40 litres par seconde, permettant aux niveaux de puissance du generateur de plasma eloigne d'etre maintenus a moins d'environ 3 kW. Dans un mode de realisation, des especes activees peuvent etre introduites dans la chambre de traitement par l'intermediaire d'un ou plusieurs orifices de sortie disposes dans une partie laterale de la chambre de traitement. Dans un autre mode de realisation, un ensemble injection/echappement coaxial permet aux especes activees d'etre introduites dans la chambre de traitement par l'intermediaire d'un tube interieur et a des gaz de s'echapper de la chambre de traitement par l'intermediaire d'un tube exterieur. D'autres modes de realisation de l'invention comprennent une vanne composite placee dans le systeme d'amenee permettant d'isoler de maniere selective la chambre RPC de la chambre de traitement et un piege optique destine a proteger des composants sensibles de la vanne d'isolation d'une exposition a un bombardement ionique et de rayonnements plasma. La chambre de traitement comprend egalement des canaux d'ecoulement permettant aux especes activees de nettoyer des cavites et des composants situes au-dessous du suscepteur, tel que des ensembles de broche de levage. On peut effectuer une detection au point terminal du nettoyage au moyen du plasma eloigne en allumant un second plasma a puissance faible dans la chambre de traitement a partir des especes activees generees par le generateur de plasma eloigne, et surveillant les conduits d'emissions (ou les rapports de ceux-ci) a partir du second plasma au moyen d'un detecteur optique.