Method of manufacturing an ink jet head, and an ink jet recording apparatus

まず、シリコン基板１の一方側の面上に第１電極層４、圧電体層５、第２電極層６及び振動層７をその順に積層する。 次に、振動層７上にインク室隔壁８とノズル板１１とを積層する。 次に、シリコン基板１を第１電極層４と反対側の面から研削して所定の厚さまで除去した後、残余のシリコン基板１３をドライエッチングを行って除去する。 その後、第１電極層４をパターニングして複数のインクジェット機構２，２，…を形成する。 最後に、複数のインクジェット機構２，２，…を分割して複数のインクジェットヘッド３，３，…を同時に作製する。