Mikromechanische Kappenstruktur und entsprechendes Herstellungsverfahren

Die Erfindung schafft eine mikromechanische Kappenstruktur und ein entsprechendes Herstellungsverfahren, wobei die Kappenstruktur ein Substrat, insbesondere in Form eines Wafers (10), mit einer darin eingebrachten Kaverne (K) aufweist, wobei die Kaverne (K) eine Grundflache und zwei Paare (A1, A2; A3, A4) gegenuberliegender paralleler Seitenwandabschnitte aufweist. Die Kaverne (K) weist mindestens einen Stabilisierungswandabschnitt (SK1, SK2; S1-S4) auf, welcher zwei Seitenwandabschnitte miteinander verbindet. Dies erhoht die Stabilitat der Kappenstruktur erheblich.