Procede de traitement d'un flux de gaz

L'invention concerne un procede de regulation du rendement d'un systeme de neutralisation destine a traiter un flux de gaz, dans lequel une partie du flux de gaz est deviee a l'ecart d'un dispositif de neutralisation a plasma destine a eliminer une espece perfluoree du flux de gaz, et renvoyee dans le flux de gaz en amont du dispositif de neutralisation pour faire office de gaz de purge d'une pompe a vide. Ceci peut reduire a la fois la consommation d'energie du dispositif de neutralisation et la quantite de gaz inerte ajoute au flux de gaz pour constituer le gaz de purge.