Composant électrique miniature comprenant un mems et un asic et procédé de réalisation

2011 
La presente invention concerne un composant electrique miniature comprenant une puce MEMS et une puce ASIC. La puce MEMS et la puce ASIC sont superposees. Un montage interne se composant de la puce MEMS et de la puce ASIC est connecte a des bornes electriques externes du composant electrique par des trous d'interconnexion a travers la puce MEMS ou a travers la puce ASIC.
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