マイクロ揺動体、光偏向器、画像形成装置

2004 
【課題】角速度の変動を押さえることが可能な共振型のマイクロ揺動体を提供する。 【解決手段】入れ子型マイクロ揺動体であって、複数のねじりバネと複数の可動子からなる系が、分離した複数の固有振動モードを有し、該分離した複数の固有振動モードの中に、基準周波数の固有振動モードである基準振動モードと、該基準周波数の略偶数倍の周波数の固有振動モードである偶数倍振動モードが存在することを特徴とするマイクロ揺動体を提供する。 【選択図】図7
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