Optical sensing technique for Youngs modulus measurements in piezoelectric materials

En el diseno de micro sensores utilizando la tecnologia de sistemas electromecanicos (MEMS por sus siglas en ingles), es necesario conocer las propiedades mecanicas de los materiales empleados. Las propiedades mecanicas fidedignas son criticas para el funcionamiento correcto y seguro de estos micro dispositivos. Someter a prueba a micro estructuras cuyo grosor es de unas cuantas micras requiere tecnicas nuevas y procedimientos especializados para su preparacion y manejo. En este trabajo se utiliza un sensado optico simplificado para medir el modulo de Young en trampolines piezoelectricos. Esta tecnica optica se eligio debido a que es la mas apropiada cuando se trabaja con dispositivos pequenos; ademas es facil de instrumentar y de bajo costo.