Système optique dimagerie pour imager un champ dobjet dans un champ dimage, et système optique déclairage pour éclairer un champ dobjet

L’invention concerne un systeme optique d’imagerie qui comporte une pluralite de miroirs permettant de transformer une image d’un champ d’objet (9) dans un plan d’objet (11) en un champ d’image (13) dans un plan d’image (14). Une face de reflexion d’au moins un des miroirs est configuree comme une face de forme libre ne pouvant pas etre decrite par une fonction symetrique en rotation. Le champ d’objet comporte un rapport de forme (x/y) superieur a 1, un rapport de dimension transversale minimale/maximale du champ d’objet inferieur a 0,9. Dans un autre aspect, le champ d’objet (9) et/ou le champ d’image (13) s’ecartent d’une forme de champ a symetrie de miroir. Le systeme optique (10) d’eclairage servant a eclairer le champ d’objet (9) comporte des composants qui guident la lumiere d’eclairage (3) et sont concus pour eclairer un champ d’objet (9) forme de maniere correspondante. Il en resulte un systeme optique d’imagerie, un systeme optique d’eclairage et un systeme d’exposition par projection equipe de ceux-ci, qui repondent a des exigences accrues en matiere de correction d’erreurs d’imagerie sur le champ image par le systeme optique d’imagerie.