エネルギーデグレーダ、及びそれを備えた荷電粒子線照射システム、並びにグラファイト膜の製造方法

従来よりも放射能化の程度が小さい減衰部材を有するエネルギーデグレーダを提供する。減衰部材（１１）は、グラファイト膜であり、前記グラファイト膜の膜面方向の熱伝導度は、１２００Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であり、前記グラファイト膜の厚さは、０．１μｍ以上、５０μｍ以下である。